二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293824586 待售
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU（Product Containment Unit）是一種曝光設備，設計用於在半導體生產中提供最大的密封能力。該系統配有一個可調、先進技術的閘閥,可將PCU的工作區與生產環境的其余部分隔離開來。這樣可以確保工作空間中只存在最純凈的氣體和化學品，從而確保清潔和安全的工作環境。FUSION M200PCU由固定的安全殼、可調節的觀察窗和低熱質量爐精心構造，都是根據用戶的具體需求組織的。可調檢視視窗旨在增加裝置內部工作的可見性。低熱質量爐的設計是為了確保在每一個溫度設置時均具有一致的熱性能和傳熱精度。AXCELIS M200 PCU使用由鋁支撐結構覆蓋的石英網吸收基板發出的短波和長波長紫外線輻射，保護其免受氧化和汙染。石英網還有助於調節聚合過程中的固化均勻性，使生產具有高性能的半導體成為可能。M200 PCU還有多種選擇,包括微機電系統（MEMS）塗層、矽氧化物和等離子體增強的CVD,以及高通量/低流量氣體管線。在半導體生產過程中,MEMS塗層薄膜資源確保了對薄膜的精細控制和均勻性。氧化矽和等離子體增強的CVD有助於優化細線光刻的生產和優異的底層防反射塗層（BARC）性能。AXCELIS M200PCU旨在滿足最嚴格的密封要求,並采用SafeWeb技術。此軟件包用於保護計算機免受潛在的破壞,如未經授權的訪問嘗試和進程參數操作。這確保了安全可靠的工具,同時仍然操作簡單,有助於保護員工、最大限度地降低成本和保持質量。
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