二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9095387 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一種完全可配置的半導體晶圓曝光設備,為前沿半導體器件技術提供最高精度、最高質量的EUV掩蔽。該系統專為8英寸、12英寸和16英寸晶圓尺寸而設計,具有創新的大尺寸蒙版工作臺和平滑的傳輸運動-在蒙版書寫方面提供了前所未有的穩定性和準確性。FUSION M200PCU旨在通過高端掩碼吞吐量能力和下一代校準能力來加速掩碼的生產效率。它具有x、y、theta和z四個掃描軸，在存在熱漂移的情況下提高了掩模寫入精度和穩定性。PCU允許使用用戶選擇的曝光字段快速優化和全局叠加校正,以及用戶指定的掃描速度和分辨率,從而實現精確的叠加對齊。AXCELIS M200 PCU提供了一個用戶友好、直觀的圖形用戶界面。集成控制器包括用於圖像質量分析、自適應校正、優化和增強對單元功能控制的軟件工具。該機還可以與ASTA口罩-檢查工具集成，允許用戶以高度的精度和控制來監視、測量和校正所有暴露的口罩場。PCU工具利用高性能激光照明光學資產，具有優異的光束穩定性和功率匹配能力。它還具有一個大場、多縫光束傳遞單元，允許在整個遮罩場均勻照明。集成的動態光束成形模塊提供了復雜掩模結構特征的優越、銳利再現。可選的曝光掃描儀附件可用於模式遊覽,分辨率高達0.25 um。M-200 PCU配備高精度、熱控、掩模和晶片級模型,並帶有加熱晶片卡盤,可優化過程控制。該設備還配備了一個脈沖氮氣櫃以幫助盡量減少汙染，一組高性能機械級在整個暴露過程中提供高穩定性，以及一個空氣凈化系統以消除灰塵的潛在有害影響。AXCELIS/FUSION M-200 PCU是一個高度通用的單元,能夠生產具有高吞吐量能力的優質口罩,同時還能提供極致的準確性、統一性和過程控制。它是最先進和要求最高的半導體掩蔽應用的理想解決方案。