二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9145259 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU是為光刻塗層和烘烤應用而設計的領先曝光設備。該系統在塗層、烘烤、後烘烤和蝕刻工作流程中提供一致性。其先進的技術確保了精確和可重復的控制、更好的生產再現性和交付的性能。其先進部件包括晶圓機器人裝載機、平臺安裝的輸送機單元、受控溫度空氣和變速驅動電機。晶圓機器人裝載機具有嵌入式視覺機器，可確保晶圓的插槽到插槽的精確處理。輸送機工具有一個可調節的網絡夾具，這使得精確晶片到晶片的傳輸和放置與最小的人工交互。溫度和濕度控制確保溫度和濕度條件均勻，以減少缺陷。可調整變速電動機，對曝光、烘烤、蝕刻操作進行精確、可重復的控制。FUSION M200PCU有一個標準的烘烤烤箱與循環加熱空氣資產.該烘烤爐支持N7、HMBCD和HOLEMASK/SATICIDE工藝的晶片曝光。烤箱還配備了最新的門/程序優化控制，以確保均勻性和最優工藝性能。該模型還包括一個排氣通風室，可以清除任何不必要的氣態積聚。該設備還設有可變高度薄膜塗層站，可自動將光刻膠沈積到晶片基板上。本站設有專利空氣霧化器技術，提供均勻精確的光刻膠膜厚度塗層，達到最佳效果。該系統還為熱板、烤盤和紫外線暴露操作提供可選支持。AXCELIS M200 PCU是一個高效的性能增強單元,具有先進的技術並支持各種曝光操作。此機器可確保精確和可重復的結果,提供更高的操作效率、更好的可重復性和總體卓越的性能。