二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9250405 待售
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一種用於光刻的超高分辨率自動曝光設備。FUSION M200PCU旨在提供最高水平的精確度、精確度和可重復性,是高效生產微型和納米精密元件的可靠工具。該系統提供的超高分辨率是由其先進的投影鏡頭，其特點是專利彎曲場技術成為可能。這項技術使AXCELIS M200 PCU能夠將圖樣化區域精確投影到從矽片到其他平面的各種基板上。這樣可以確保每次圖像都準確一致。M200PCU的曝光源是一個強大的連續脈沖汞蒸氣燈，能夠產生寬帶和深紫外線。AXCELIS M 200 PCU配備精密的25mm x 50mm陣列面罩，具有衍射質量鍍鉻鉬基。這樣就可以將完美無瑕的結構投射到40納米的水平。曝光單元還采用了最先進的運動控制機器，利用精確的線性和旋轉軸來提供最精確的基板管理。AXCELIS/FUSION M200 PCU的其他功能包括用於快速聚焦優化的計算機控制自動對焦工具、集成的自上而下均勻性校準、實時基板溫度監測以及用於優化劑量均勻性的先進曝光控制算法。M200 PCU是廣泛應用的理想解決方案,包括半導體晶片加工、太陽能電池制造、薄膜沈積和醫療設備制造。其堅固的結構和直觀的用戶界面使其在具有挑戰性的生產環境中易於使用和可靠。AXCELIS/FUSION M 200PCU具有一系列先進的特性和功能,為高級光刻技術的需求提供了經濟高效的解決方案。
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