二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9284344 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一種全自動晶圓曝光設備,在設計時考慮了生產率和生產吞吐量。這個系統設計用來處理直徑200毫米範圍的晶片。該單元由高精度X-Y級和運動控制機、高端模式發生器、多光譜盒照明和先進的紫外線光學器件組成。晶圓級的分辨率為2.5納米。這種精確度能夠快速、準確地打印復雜的圖案。此工具提供了許多功能以最大限度地提高生產效率。它包括一個稱為Protec PU的高級模式生成器，它可以即時生成模式，最大內存為40兆字節。該資產還配備了先進的光學模型,可提供穩定的均勻照明和自動零移位,以及高達270 nm的超限功能。該設備還配備了Astra,這是一種集成檢測工具,能夠在曝光後自動檢測晶圓。Vision Metrology系統和3D映射軟件可用於打印模式的可視化。該單元的晶片吞吐量高達每小時1200個晶片,並且能夠根據層的復雜性每小時處理多達500種模式。它集成並提供了一個廣泛的庫,用於優化腳本、過程配方和模擬模型。最後，機器是高度可靠的，包括自我診斷，以及幾個功能，以防止錯誤。FUSION M200PCU是晶圓制造極為通用、功能強大的工具。它具有柔韌性、準確性和高通量，非常適合半導體生產和光刻。憑借其高端功能和可靠的性能,此工具可以顯著提高生產效率並顯著降低生產成本。