二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9284834 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一款先進的曝光設備，旨在提供半導體加工領域的卓越成像性能。該系統將直接和反射器光學技術與高端光學技術相結合，以確保可靠和可重復的曝光精度。該單元由高分辨率步進電機、介質控制器和用戶友好軟件組成。步進電機能夠以精確、流暢的方式推進各級，確保零件在基板中的準確放置。介質控制器管理跨多個功能的階段和序列,並具有可預測的結果。軟件具有圖形用戶界面,允許輕松更改參數、預覽和優化曝光過程。該機裝有紫外線激光器，可以快速準確地接觸基板。標準光刻還包括波長範圍為365、248和193nm的高達8 W的紫外線光源。為了獲得更高的分辨率，設計中加入了高精度對準工具，允許更好的對焦和圖像結果。此對齊資產能夠在1微米內提供圖像精度。該型號設計靈活、模塊化,能夠快速輕松地更改設備配置以滿足特定需求。它還具有高速數字通信、高速控制器、低電壓等特點，以減少功耗和恢復時間。FUSION M200PCU是基於項目和生產環境的理想工具。該系統具有靈活的設計、高精度的組件和軟件,便於根據不同的需求進行快速更改,從而以具有競爭力的價格提供卓越的成像效果。