二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9314155 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一種頂級曝光設備,旨在簡化晶圓處理過程中的移動和自動化。該系統具有高級曝光模塊（AEM）,能夠保持比競爭對手系統更嚴格的覆蓋控制。這種先進的技術可以靈敏地掃描模式，精確地改變生成模式的大小和形狀。該單元還具有三軸級,可提高曝光時的精度。該機器包含圖像掃描技術,它提供晶片的詳細圖像,用於快速檢測多個芯片上的模式。這項技術還可以高精度檢測缺陷，確保高產，而不犧牲整體生產力。該工具還包括一個尖端的雙噴射聚焦離子束（DJ-FIB），提供高精度的圖樣定位和快速的重復性。FUSION M200PCU還具有提供無與倫比的速度和效率的高端自動化功能。資產能夠進行各種類型的曝光，包括抗蝕、鍍鉻、黃金。該模型還可以集成最先進的自動化,以簡化流程時間,顯著降低人工成本,並釋放人員以專註於其他任務。最後,AXCELIS M200 PCU提供了改進的汙染控制.通過其厭氧過程隔離，設備阻擋汙染物和顆粒積聚，可以影響整體晶圓性能。該系統還包括全面的離子洗滌，以完全清除汙染物。總之,FUSION M 200 PCU提供了先進的自動化、精確的移動和卓越的汙染控制.其尖端成像技術使得該單元非常適合快節奏晶圓處理操作，提供詳細的分析和一致的結果。該機具有增強的叠加控制、精確的圖樣定位和改進的工藝時間，是提高晶圓處理效率的創新解決方案。
還沒有評論