二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9314174 待售
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FUSION™ AXCELIS/FUSION M 200 PCU曝光設備是先進且高效的基板曝光系統,適用於先進的晶體管技術。它結合了最新的工藝技術和高度適應性的基板處理平臺，允許廣泛的設備制造過程進行處理。FUSION M200PCU單元包括具有4點基板處理能力的完全集成的光機械機。它還具有先進的成像和對齊配置,能夠實現非常精確的對齊。此外，該工具還為用戶提供了容納多達7種不同基材的選擇。資產依賴於基於雙槍射頻（RF）的電子束蒸發。此過程可確保提供一致的層厚度以及出色的可重復性。射頻源還能最大限度地減少有毒揮發性有機化合物（VOC），同時仍能提供優異的效果。該模型為用戶提供了多種好處，例如能夠快速且不失真地暴露大面積基板；創造多層不同材料的能力；提供多種曝光技術，包括多軸、動態和階梯式分辨率。它還允許用戶定制曝光參數，提高對準精度，減少基板和材料處理時間，減少熱應力和減少面罩汙染。AXCELIS M200 PCU具有強大的設計能力,能夠產生高質量的圖樣,是適用於各種基板和器件應用的理想基板曝光設備,包括生產先進的晶體管,如場效應晶體管（FET）、金屬氧化物半導體（MOS）器件和表面聲波（SAW）諧振器。此外,它還可用於多種沈積任務,如CMP處理、介電蝕刻、柵極沈積、墊層沈積和屏障/襯裏沈積過程。
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