二手 AXCELIS / FUSION M150PC MicroLite #9162462 待售

AXCELIS/FUSION M150PC MicroLite曝光設備是一種高性能光刻選項,旨在滿足最具挑戰性的生產要求。該系統為生產光刻提供了高效、經濟高效的解決方案。利用PascivalinesTM/DEC Seria TM光學設備,該設備的高級設計和構造提供了卓越的性能、準確性和分辨率,並能夠以前所未有的速度和準確性有效生產下一代半導體結構。此外,專有的空氣軸承主軸可確保高度精確的晶圓處理和對準,而SCSI控制可實現嚴格的過程控制。FUSION M150PC MicroLite的小型外形允許靈活的生產設置和集成。它重量輕,占地面積小,非常適合光刻套件和一般生產環境中的鼓和隊列設置。此外，其優越的運動力學可以實現廣泛的波長和功率水平，從而產生高質量的圖像和低失真水平。AXCELIS M150PC MicroLite提供高性能、先進光學和卓越精確度的獨特組合。它易於使用的控制允許快速高效的操作,不會因為勞動密集型清潔周期而導致停機。此外，其集成的微處理器控制的機器監控和故障檢測軟件確保了最大的正常運行時間和準確、可重復的結果。M150PC MicroLite先進的激光驅動、直接驅動設計使其非常適合批量生產應用。利用模塊化、高效、低功耗的光學設計,在光刻過程中實現了高精度。它還為高分辨率暴露提供了低顆粒生成和極小的斑點尺寸。AXCELIS/FUSION M150PC MicroLite的開放式體系結構軟件能夠與各種測試和分析系統集成。這對應於提高光刻工藝的生產率和準確性。此外,其增強的操作程序使用戶能夠訪問、存儲和操作圖像分析軟件,如SEM或LDI。總體而言，FUSION M150PC MicroLite是先進生產光刻的高效可靠的選擇。它經過高度優化和經濟高效,為各種光刻工藝提供了精確度和準確性。其先進的特性使其成為大多數光刻套件的重要組成部分。