二手 AXCELIS / FUSION Microlite 200 PCU #9095471 待售

AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCU是一種精密的曝光設備，旨在方便半導體器件的操縱和制造。該系統利用了一個可定制的標線級,該標線級支持具有不同基材的多個標線,並為定位和對齊提供了可重復的性能。掃描控制針對低噪聲操作進行了優化，能夠以各種掃描速率運行。FUSION Microlite 200 PCU提供雙光束對準，在對準過程中提供高精度，減少對準時間。該單元的主要特點包括精確的數值孔徑調節、用於聚焦定位的步進電機和齒輪頭電機，以及掃描速率和光學穩定的動態優化。光掩模對準由實時聚焦機驅動，內置計算機控制、伺服驅動的標線級。它利用兩個獨立的光學引擎，在對準過程中提供高精度和精確度。該工具能夠精確定位特征,即使掃描速度超過每秒1000個周期。Photomask Changer是一種全自動資產，可以在不同的photomask集之間快速索引和切換。AXCELIS Microlite 200 PCU具有多位置條紋傳感器（MPS）和4個傳感器頭。這通過允許標線與覆蓋網格陣列的精細對齊,為對齊過程增加了一個精度級別。它還允許同時調整多個功能,從而進一步提高吞吐量和生產率。標線選擇單元（RSU）提供精確、低噪聲的標線對準，步進電機和齒輪頭電機提供精確的聚焦和定位。此外,AXCESMicrolite 200 PCU具有有效的冷卻解決方案,使模型能夠處理不同的基材和材料。還提供了遠程監測設備，以便在無需人工幹預的情況下高效收集數據。該系統還允許快速設置多個模塊,這些模塊可以輕松安裝。最後,AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCU是一種先進的曝光裝置,具有多種功能,旨在提高半導體制造工藝的效率和準確性。該機提供雙光束對準、精確的數值孔徑調整、用於精確對準的MPS傳感器，以及用於精細精確對準叠加網格圖樣的多位置條紋傳感器（MPS）。該工具還具有處理不同基材和材料的有效冷卻解決方案。資產還配備了一系列自動化功能,這些功能可提高生產率、縮短對齊時間並提供高效的數據收集。