二手 AXCELIS / FUSION Microlite #138918 待售

AXCELIS/FUSION Microlite是一種曝光設備，用於精確陣列微電子器件，包括半導體集成電路、LSI/VLSI器件、MEMS（微機電系統）、印刷電路板等相關器件。該系統旨在提供制造最具挑戰性的部件所必需的關鍵功能,同時又具有成本和空間效率。FUSION Microlite的緊湊設計、先進的功能和優異的效果證明了其卓越的性能。AXCELIS Microlite單元包括一個集成的低壓輻射源和一個高速陰極射線管，為工作表面提供極均勻的光。該燈由可調節的高分辨率的1-4Kw/h功率範圍產生。固定的背光能力使整個被照亮的表面具有精確的精度。此外,該機器還具有高度可控的光強度、角度和擴散特性,可提供最佳的陣列和像差功能。其他一些集成功能增強了Microlite的性能。其先進的計算機控制程序使工具操作員變得友好，並允許用戶定義的模式和設計。利用自動化的輕型電源控制和內置的緩解資產,進一步優化了模型的性能和壽命。集成冷卻設備可確保在整個使用過程中保持一致的散熱性能。AXCELIS/FUSION Microlite的電動線軸提供了極精確、高精度的曝光。其均勻的運動能力允許精確的可重復性以及速度控制，並使其易於在不同的可編程模式曝光之間快速切換。此外,運動的平滑度確保即使是最復雜的模式也能得到一致、準確的結果。FUSION Microlite系統提供了極致的經濟性和技術性能。其先進的特點和緊密集成的性能使其成為微電子行業中的高效工具。其卓越的性能和成本效益使其成為任何微電子設計或工藝的理想解決方案。