二手 AXCELIS / FUSION PCU #293635910 待售
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AXCELIS/FUSION PCU是一種用於半導體晶圓加工的自動化曝光設備。它提供了多種特性和規格,使得生產先進的微電子器件。FUSION PCU由高級控制器單元控制,它能夠根據不同的用戶配置文件控制系統的進程。此控制器可確保為每批基板正確設置所有參數,從基板的尺寸和形狀到曝光時間。控制器還支持廣泛的用戶首選項,包括能夠輕松調整參數之間的曝光時間。該單元還具有先進的光學傳感器和一臺全電子驅動機器,可確保晶片在光束下的位置對準並聚焦於光掩模的投影點圖樣。這一特性有助於提高曝光過程的準確性,減少制造誤差的發生。AXCELIS PCU具有高速快門,觸發時觸發紫外線光束。這種光是由一種高功率的汞-氙燈產生的,通過能量集中原理進一步放大。這使工具能夠快速準確地放置任意大小的矩形曝光場,精度高達1微米或更精細。PCU可以使用標準的22場光掩碼或高級的200場光掩碼投射多達8個曝光場,從而確保客戶幾乎無限的靈活性。這樣,隨著曝光時間的減少,半導體生產過程中的效率提高,並且由於曝光錯誤而減少報廢和停機時間。除了強大的性能外,AXCELIS/FUSION PCU的設計更易於使用。其簡單的菜單資產使即使是新手用戶也能快速輕松地設置各種曝光標準,如曝光時間和現場大小。它的高級圖形用戶界面還使用戶能夠輕松地排除可能發生的任何暴露錯誤。最後,FUSION PCU采用高質量的材料制成,旨在承受操作產生的溫度和振動。它還被設計為與大多數現有的自動化技術兼容,使其能夠輕松地集成到現有的生產線中。AXCELIS PCU是尋求可靠高效曝光模型的用戶的理想選擇。
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