二手 AXCELIS / FUSION PS3 #293742986 待售
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AXCELIS/FUSION PS3曝光設備是一臺先進的光刻機，設計用於先進的半導體加工。利用可靠的離子源,FUSION PS3提供各種基板材料和設計幾何形狀中設備特征的高度精確和一致的曝光。該系統支持光刻和非光刻工藝，比傳統光刻工藝提供了更好的特征分辨率和一致性。該平臺采用10微米分辨率的線性掃描儀，最大速度高達2000線/秒。一個大的視野和快速的掃描速度，使快速的設備模式傳輸，同時產生優越的特征細節。此外,AXCELIS PS 3通過其高度靈活、可配置的平臺設計提高了吞吐量。其機器人盒式裝載機優化多設備生產，而自動曝光控制單元則相應調整曝光時間，以確保連續可重復性和高均勻性。PS3的精密光傳輸機允許在整個基板表面精確聚焦，以實現高長寬比和增加均勻性。其主動控制工具可減輕任何光學對準和失真問題,從而實現高度準確的處理結果。平臺的高靈敏度、高精度光掩模對準和測量技術也使其能夠處理甚至復雜的設備特性。該資產具有10nm的有效對準公差、高信噪比和低次分辨率對準信號,可準確傳輸微小的特征信息。總體而言,AXCELIS PS3為大容量和高級半導體生產提供了高級設備處理功能。該模型具有精確打印小特征和小圖案的能力,可確保高精度和重復性,從而提高產品產量。它具有高度的靈活性、可配置性和準確性,使其成為高級設備處理的強大平臺。
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