二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9228099 待售

AXCELIS/FUSION PS3是半導體工業中用於光刻工藝的先進曝光設備。FUSION PS3系統是一個前沿單元，通過提供更高的分辨率、更好的可重復性和更快的吞吐量，改進了傳統DUV光刻能力。AXCELIS PS 3具有一整套功能,旨在增強光刻工藝的最終結果。該機采用多種刀具配置,可實現精確的層對齊和多場、多場型晶圓掃描功能。PS3的高速、高分辨率掃描和輸出能力可以產生高達500 x 500 mm的晶片,分辨率為0.17 μ m。此外，AXCELIS PS3為最先進的工藝支持廣泛的敏感晶片基板。該工具的數字基板傾斜補償功能可實現快速、準確的晶圓成像,而先進的晶圓跟蹤和曝光控制系統可確保晶圓對準一致。AXCELIS/FUSION PS 3的高級處理系統提供各種材料選擇、抗蝕劑、掃描速度、鏡頭減少和蝕刻增強。可以根據流程要求定制工具選擇以及硬件和軟件的組合。FUSION PS 3的晶圓加載資產提供了更大的靈活性來支持高吞吐量需求。此外,還提供各種高精度光學封裝,為客戶提供最高的處理精度。PS3模型包含了一整套服務和支持計劃,以確保客戶流程的連續性。預防性維護、設備維修、備件交付、技術培訓等都是整體服務包的一部分。此外,FUSION還為客戶查詢提供快速解決方案。總體而言，AXCELIS/FUSION PS3高級曝光系統是光刻處理應用的絕佳工具。FUSION PS3將最高性能的功能與最新技術相結合，提供了最先進、最可靠的光刻解決方案。