二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9230281 待售

AXCELIS/FUSION PS3是一款先進、高性能、經濟實惠的曝光設備，用於制造和制造半導體晶圓、集成電路等高科技元件。該系統支持Advanced Technology Manufacturing,並建立在數百年的光學、金屬和精密機器設計實踐的基礎上,以實現最先進的性能。FUSION PS3由一系列組件組成，包括光源、標線臺、鏡頭、相機、掩蔽和圖案針跡。發射波長在365至436納米之間的光源，或為汞激光，或為氙激光器，用於將受控模式投射到標線級。標線是一種用於將定義的圖樣暴露在晶圓上的掩碼。標線保持在真空框架中，這樣圖樣就不會相對於被圖樣化的基板移動。鏡頭捕捉激光發出的光，並將其引向標線級。這種透鏡通常由熔融的二氧化矽制成，其設計目的是提供一個平坦的視場，以便精確地形成圖樣。攝像機用於檢查鏡頭和標線,而掩蔽單元確保滿足所有工藝參數。圖樣縫合提供了一種準確確定每種圖樣在晶片上的位置的方法。除了AXCELIS PS 3的組件外，這臺機器還包括一個預測控制器，它使用了一系列復雜的算法來優化過程。該控制器不斷監控工具的性能並調整參數以確保獲得最佳效果。此外,資產還具有內置的安全功能,可在發生流程錯誤時關閉模型。AXCELIS PS3能夠產生高精度和可重復性的多種模式。該設備可用於光刻、蝕刻、光刻和等離子體增強等多種應用。此外，AXCELIS/FUSION PS3能夠進行晶圓映射、缺陷檢測和介電測試。該系統提供了一系列高級功能,包括高速模式識別引擎和具有自動數據存檔功能的多級數據記錄器。該單元還包括一套用於控制、監視和分析暴露過程的軟件工具。總體而言，PS 3是一款可靠、功能強大的曝光機，可用於多種行業和應用。它的精確度、性能和經濟效益使其成為需要高級流程控制和精確度的高端應用程序的智能選擇。