二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9240661 待售

AXCELIS/FUSION PS3是一種曝光設備，幫助制造商生產先進的照相和印刷設備，如印刷電路板、平板顯示器和生物傳感器。FUSION PS3是一個最先進的光刻系統，為集成電路（IC）芯片的開發提供高質量的陣列。它結合了先進的光學、機械和電子硬件，以及用於圖樣和計量的先進軟件工具。在其核心，AXCELIS PS 3的特點是頂部和底部的大面積曝光單元具有一個歐中心點，由一個真正的193 nm，13厘米直徑的ArF光刻激光供電。這提供了卓越的聚焦深度和分辨率能力,以及頂部和底部的掩模板處理程序,提供19.75英寸乘19.75英寸的格式和高達40英寸/秒的掃描速率,以及更高的每小時10個晶片的吞吐量,從而減少制造周期時間。AXCELIS/FUSION PS3還具有基板運動控制和圖像對焦調節系統，使曝光能夠精確準確地實現。這使用戶能夠以精細的分辨率、高吞吐量和出色的覆蓋精度來設計高度集成的IC。它還使他們能夠利用真正的偏振和可變曝光能力等先進的光學功能來開發最先進的IC產品。此外,FUSION PS 3還具有精確制圖過程控制功能,可用於精確平版印刷,即使在低曝光時也是如此,它還具有強大的軟件套件,可讓用戶快速編程和處理復雜的圖案以及精確的結果。還提供了一套計量工具，包括曝光前和曝光後的對齊方式，以取得一致的結果。最後,PS3提供了一種增強的環境控制機器,可確保刀具的準確運行,減少對空氣汙染物的影響並提高電源效率。這種集成的環境控制包括降低功耗的節能模式，以及可減少有害排放的低通用功率排氣按鈕。AXCELIS PS3是一種功能強大且可靠的光刻資產,它提供高級曝光能力以幫助生產明天的IC設備。它結合了先進的硬件和軟件,提供精確的陣列和計量功能,以及改進的吞吐量和環境控制功能。