二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9240662 待售

AXCELIS/FUSION PS3是為提供行業標準光刻曝光能力而設計的曝光設備。該系統是FUSION平臺的後繼產品,它提供了若幹重大的升級和改進。該單元采用前沿激光掃描技術，提供卓越的分辨率和非常緊密，可重復的圖樣。它具有可調的特性尺寸，從4微米到10微米不等。它還具有輸出功率高達2000瓦的高功率激光器,允許更快的曝光和更高的吞吐量。這臺機器有一個大的、精細的機械橋，可以覆蓋大範圍的曝光場，高達12英寸。這座橋配有多種可調節的光刻口罩，包括BGA、LGA和特種口罩。該工具還具有幾種蓋子類型和尺寸,以容納更大的基板。FUSION PS3資產具有先進的噴嘴設計,其設計重點是提高尺寸精度和最小振動。這確保了更高的基板陣列精度,同時還提供了更安全的環境和更低的噪聲級別。此外,該模型還具有多種曝光選項,包括聚焦光束、反射和叠加選項。這一品種讓用戶能夠準確匹配自己的曝光需求，同時也提高了速度和吞吐量。最後,但並非最不重要的一點是,此設備還附帶了一套全面的軟件工具,以最大限度地提高其功能。捆綁軟件提供了分析功能,用戶可以在執行與設計數據匹配的投影時識別和消除陣列缺陷。它還具有自動缺陷識別功能，有助於確保基板圖樣的質量，減少代價高昂的錯誤和重新加工的風險。總體而言,AXCELIS PS 3是一個功能強大且可靠的系統,旨在滿足現代光刻曝光需求。該裝置是先進包裝、高針數器件制造和生物醫學器件制造等工藝的理想解決方案。