二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9241236 待售

AXCELIS/FUSION PS3是一款最先進的曝光設備，專為先進的蒙版生產和光刻圖案設計。該系統結合了高精度光學、無懈可擊的成像單元和先進的軟件控制，提供超精度、高分辨率的結果。FUSION PS3是一臺先進的光學成像機，利用集成的光學工具，由寬帶弧光燈和非球面紫外線i線鏡頭組成，提供精確的成像結果。高分辨率光學和軟件控制的結合使資產能夠將模式精確地定義為晶圓。該模型還具有自動晶片對準設備，允許晶片的自動對準和配準以及精確的圖樣放置。AXCELIS PS3利用先進的軟件控制方法，幫助優化生產過程中的速度和精度。自動晶片對齊功能由高級軟件包管理,該軟件包允許在流程的每個步驟中準確定位組件。此外,該系統還能夠即時調整,以實現超精確的陣列放置和焦點控制。軟件還允許操作員充分利用設備的成像能力，優化吞吐量，最大限度地提高產量。PS3機還集成了先進的掃描儀工具，將精密XY級與電動Z軸掃描頭相結合。這種運動階段和高級成像資產的結合,可以實現超精確的性能和準確性。該模型還提供有關成像性能的反饋,以及板載掃描診斷程序,以驗證最佳設置和參數。此外,AXCELIS PS3還具有很強的檢查能力。這包括圖像比較、缺陷分析、叠加性能和光譜響應分析。這使設備能夠提供一致的產量和可靠的過程控制。PS 3是一個最先進的曝光系統,旨在提供卓越的成像功能、可靠性和過程控制性能。利用先進的光學、成像系統和軟件控制措施，該設備非常適合下一代蒙版生產和光刻制圖。AXCELIS/FUSION PS 3具有精密光學、自動晶片對準機、電動掃描頭和超精密成像功能,可提供掩模生產和光刻所需的性能和準確性。