二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9241297 待售

AXCELIS/FUSION PS3是一種曝光設備，設計用於制造半導體器件的光刻工藝。它能夠暴露小至0.25微米、直徑達一英寸的特性。融合的FUSION PS3系統包括一臺控制機器運行的強大主機,以及UltraViolet （UV）光源和精密級。曝光單元的光源是發射紫外線的弧光燈。該機具有高速掃描、用於測量光源強度的精確紫外線傳感器，以及精確控制可移動級的定位以精確對準掩模和暴露的晶圓。該工具的最大掃描速度為每循環30毫秒，Z步進精度為0.3微米。AXCELIS PS 3的功能集允許快速準確地制造半導體器件。憑借其集成的精確舞臺定位，以及一系列操作模式，用戶可以撥入保持高吞吐量所需的精確參數，同時確保功能保真度。曝光資產具有完整的過程控制功能,並通過內部質量控制模型從晶圓反饋,從而允許對整個制造過程進行嚴格控制。該設備可配置為自動執行各種獨特的過程,例如晶圓暴露在兩個或多個不同的掩模中。AXCELIS/FUSION PS 3曝光系統設計用於制造半導體器件的各種光刻工藝。其強大的主機計算機允許對整個過程進行精確的控制，而其高速掃描、精確的紫外線傳感器和超精確的級定位器則允許快速準確的設備制造。