二手 AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC #9273833 待售

AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC是下一代頂級曝光設備,旨在促進先進半導體工藝的發展。該系統具有320mm直徑、變速晶片卡盤和高精度晶片對準裝置,無需復雜和昂貴的後期處理程序即可生產出非常精細的設計。FUSION RapidCure 320FC配備了Xpress系列（或FusionHead）的深紫外線激光源和獨特的照明設計,可同時容納定制的非球面透鏡和狹縫照明,是開發20 nm以下工藝節點的理想工具。其高精度的晶圓對齊機確保即使是非常小的特征對齊正確。RapidCure在整個表面提供了出色的暴露均勻性,在暴露時間和劑量方面的差異小於1%。該工具使用兩個過濾器,根據工藝要求允許不同的解決方案,其高度精確的劑量控制可確保每個處理步驟的最新結果。AXCELIS RapidCure 320FC還具有用於控制焦點高度的高級輸入/輸出數字I/O,進一步允許復雜、重復的步進運動輪廓與成像相結合。該資產同時集成了靜態等離子體源和用於均勻腔室環境的精確控制閘閥。快速固化過程確保每次均以一致的方式完成光致抗蝕劑組，延長了該過程中使用的晶片和掩模的使用壽命。集成冷卻模型可確保低熱波動和高功率的長期使用穩定性。最後,RapidCure 320FC通過其先進的接口功能和對各種曝光工具供應商的支持,能夠進行過程模擬和OPC校準。RapidCure結合了自動化配方、實時曝光流程驗證和高級報告工具,提供了最新的流程開發功能。