二手 AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC #9293675 待售

AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC
ID: 9293675
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
UV Anneal system, 12" 2007 vintage.
AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC是一款先進的曝光設備,與傳統方法相比,提供了更好的使用和準確性。該系統設計用於單通激光光刻的精確接觸愈合。在從幾微米到幾毫米厚的各種基材上接觸接觸是可行的。FUSION RapidCure 320FC能夠在標準基材上達到30至60分鐘左右的曝光時間,在精致基材上達到10至40分鐘。此外,這個單元還有一個用戶友好的編程界面,簡化了曝光過程。AXCELIS RapidCure 320FC具有強大的基於激光的光學機器,它使用定制的波長來適應特定的愈合應用。它的磁場曲率是可調的,允許精確對準聚焦在晶圓上。此外,它的線性伺服電機驅動工具和線性定位技術使這一資產更可靠的快速和準確的愈合。在安全性方面,RapidCure 320FC具有一系列保護人類和財產的功能。其中包括一個方便的無障礙保護、一個緊急停止按鈕、一個集成的防撞模型和一個先進的熱安全設備。此外,它還具有自動化就緒功能,使用戶能夠輕松地將系統集成到自動化生產過程中。AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC對用戶也有一系列好處。這些措施包括無汙染操作、能效和提高生產率。該機組擁有集成的高分辨率和低湍流空氣機,進一步確保工作區域周圍的空氣流量和溫度均勻。因此,FUSION RapidCure 320FC有助於降低生產成本和提高質量保證。總體而言,AXCELIS RapidCure 320FC是一種先進的曝光工具,使用戶能夠快速準確地修復細膩的底物。其用戶友好的界面、可靠的操作、安全特性和自動化就緒的能力使這一資產成為許多光刻工藝應用的可靠選擇。
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