二手 AXCELIS / FUSION RapidCure 320PS #293625716 待售

AXCELIS/FUSION RapidCure 320PS是一種頂級曝光設備,專為高速、高質量的光刻工藝而設計。該系統非常適合制造半導體晶圓和醫藥及生物醫學工業的其他部件。FUSION RapidCure 320PS具有350 mm x 475mm的舞臺尺寸,可以容納大型工件,從而提高吞吐量。它具有獨特的真空兼容性和150W的UV功率的組合，允許高速和均勻的曝光均勻性。10發自動對焦裝置允許在曝光前快速準確地聚焦晶片部分。該機配備了一系列鏡頭選項，允許多種成像技術。它有一個大的場透鏡，以盡量減少掃描邊界處的縫合，從而增加吞吐量和場均勻性。AXCELIS RapidCure 320PS還配備了可選的激光對準工具，可以在舞臺上提供更快、更精確的對準。該資產允許采用多種曝光技術，包括晶圓級直接曝光、叠加曝光和間隙曝光。此外，它還配備了一個用於處理晶片的「智能機器人臂」，用於在各級之間運輸晶片的機器人，以及一個便於操作的先進控制面板。RapidCure 320PS具有許多高級安全功能,包括緊急關閉選項和鎖門通道。它還具有獨特的保護知識產權的安全模式。最後，它具有全面的數據記錄功能，允許用戶跟蹤以前的光刻過程和曝光。總體而言，AXCELIS/FUSION RapidCure 320PS是一種頂級曝光設備，專為高精度和高效的光刻工藝而設計，這使它成為尋求制造半導體晶片和制藥和生物醫學行業其他組件的可靠系統的人的絕佳選擇。