二手 AXCELIS / FUSION Summit XT #293627840 待售

AXCELIS/FUSION Summit XT是為光刻設計的先進曝光設備。它非常適合高級內存和邏輯集成電路制造等高精度光刻工藝的應用。該系統旨在實現最高的效率和靈活性,允許用戶針對特定設備或平臺優化其流程。該設備采用多通道、頂級4kWxtal光學產品。這樣可以實現跨多個波長和偏振角的高級性能。該機還具有全面掃描控制和先進的自動曝光控制功能，可對晶圓截面和曝光進行精確和精確的控制。該工具還具有自動對齊和源校準功能,並與流程控制軟件集成,該軟件允許優化資產性能和增加吞吐量時間。FUSION Summit XT是一個集成的模型，具有專利的空氣承載級和自動負載端口。這提供了高精度和平穩的階段操作,以及高吞吐量和可重復性。該設備還具有多種基板配置，包括每個腔室最多八個基板，兩個活動基板，每次曝光最多128步和+-15晶圓邊緣偏置。這使它能夠有效地滿足從單層到多層處理應用程序的各種用戶需求。AXCELIS Summit XT配有一個全面的軟件包，提供全方位的功能和操作。這包括許多安全功能,包括全面的流程控制、系統維護和數據管理。作為該軟件包的一部分，該單元包括一系列高級工具，以簡化和簡化機器的操作。這些包括簡單的基板編程和校準、快速設置和訪問作業數據、通過逐行映射完成晶圓數據存儲、自動化過程跟蹤和控制等等。總體而言,Summit XT高級曝光工具為原型制作和生產處理需求提供了卓越的性能和能力。借助先進的光學設備和集成軟件,該資產允許用戶將其流程定制為所需的最終用途。此外,其全面的安全功能可確保數據得到保護,並優化用戶流程以實現最高效率。