二手 AXCELIS / FUSION Summit XT #9107033 待售
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AXCELIS/FUSION Summit XT是在半導體器件製造過程中為精密晶圓曝光而設計的集成設備。它由多個不同的部件組成，包括超高分辨率步進電機、真空室、焦點和對準組件、光掩模和健壯的機器人控制系統。這些系統能夠實現亞微米設計規則合規性,從而生產出卓越的分辨率設備。步進電機是單元的重要部件，允許曝光場的精確移動，以確保一致的對準和準確曝光。電機的高分辨率支持生產極小的結構，如電路路徑、接觸手指，甚至是最小的溝槽。真空室可防止有害的空氣和環境汙染物進入機器。它充當暴露組件和外部環境之間的壓力屏障,確保工具保持清潔。清潔環境是在多個芯片上實現一致的圖像質量和可重復結果的關鍵因素。聚焦和對準組件用於在曝光過程之前對齊光掩模和晶片。這樣可以確保暴露的圖樣準確、精確。組件還有助於確保光掩碼相對於晶片正確對齊,從而最大程度地減少未對齊的可能性,從而導致設備特性出現錯誤或波動。光掩碼包含在曝光過程中轉移到晶片上的圖樣。遮罩設計的準確性和分辨率直接影響到圖案的質量，進而影響到裝置的特性。最後，機器人控制資產負責控制步進電機的運動以及焦點和對準組件，以確保模型以可預測和一致的方式運行。該設備包含各種反饋機制，可以檢測系統中的任何錯誤或異常，並自動做出響應，以糾正與正常操作的任何偏差。綜上所述，FUSION Summit XT是為半導體器件制造中的精確晶圓曝光而設計的綜合單元。其先進的部件經過優化，以實現精度和可靠性，從而生產出質量一致的高分辨率設備。
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