二手 AXCELIS / FUSION Summit XT #9189027 待售

AXCELIS/FUSION Summit XT是為半導體制造中使用的商用光刻工藝而設計的先進曝光設備。它是一個完全自動化的三軸系統，由精密電機執行器驅動，針對成像吞吐量和高精度層清晰度進行了優化。它有一個先進的光學單元，既有一個100瓦激光照明投影裝置，也有一個能夠處理高容量和低容量生產的電動掩模對準器。FUSION Summit XT旨在通過利用先進光學器件來最大化大體積晶體光刻工藝。它的模塊化體系結構允許將其集成到具有多種曝光模式的現有生產基礎架構中。該機配備了精密的軟件控制系統，可優化刀具性能並確保可靠、一致的運行。它可以用來制作非常復雜的圖樣，精度和精度都很高。AXCELIS SUMMIT XT的光學資產使它能夠同時暴露正負曝光層，同時將曝光面積從最低0.1微米改變到最高50微米。它的投影成像使它能夠捕捉到高分辨率的圖像，允許更高質量的圖像從光掩模傳輸到晶圓，從而減少打印周期時間。此外,它的模塊化和定制硬件結合自動化的流程功能,在同一運行中啟用多個晶圓流程,從而最大限度地提高生產效率。此功能允許對晶片的不同層進行預編程和自動化處理,而無需操作員幹預或重新編程。Summit XT的集成軟件平臺包括過程控制和性能優化工具，如過程控制、有效劑量映射、晶圓對齊、焦點控制、條形碼識別、腳本編輯、圖像捕獲等等。該軟件與各種相關的外部光刻工具接口,以優化模型性能和制造產量。AXCELIS/FUSION Summit XT還包括保護人員和設備的廣泛安全功能,以及先進的環境控制系統以確保卓越的成像條件。該單元可以量身定制以滿足各種客戶需求,並得到全球服務和支持的支持。綜上所述,FUSION Summit XT是一款先進的自動化曝光機,非常適合大批量產品制造過程。它具有先進的光學工具,可定制以滿足特定的工業需求,以及強大的軟件平臺。此資產旨在優化工藝性能和制造產量,同時確保人員安全和環境控制。