二手 AXCELIS / FUSION Summit XT #9235774 待售

AXCELIS/FUSION Summit XT是一款先進的曝光設備，旨在滿足半導體行業的專業需求。該系統允許生產要求最苛刻的微結構和設備特性,並具有最高的分辨率和覆蓋精度。它具有超高通量等離子體源,可將離子註入速度提高到800nm/min,以及無與倫比的成像設備,可實現最高分辨率和準確性。FUSION Summit XT能夠暴露廣泛的基材，從散裝矽片到含有超細納米層的SynGap™晶片。該機器包括一個先進的專有圖像分析和增強軟件，它允許維護極小的特征尺寸，同時確保最高水平的基板平面。它還具有先進的快速階段自動化工具,它提供了高級可重復性,使用戶能夠快速適應制造模型的變化,而又不犧牲準確性。通過增加額外的集群和模塊，包括氣體輸送模型和可選的等離子體激發源，可以進一步增強資產。AXCELIS Summit XT具有直觀、用戶友好的觸摸屏界面,允許輕松高效的配方開發、操作和設備監控。它還有一個集成的硬盤驅動器,可以在其中存儲配方設置和系統日誌數據。此外，該單元還配備了嵌入式機器控制處理器，可實現自動化控制和實時工具監控。這臺機器專為全天候生產環境而設計,提供高水平的可靠性和魯棒性。它利用專門的空調資產來維持所需的溫度和濕度,並且在環境和ESD方面符合敏感設備的要求。Summit XT是大容量半導體生產的完美解決方案。該模型具有高速成像分辨率和頂級基板處理功能,是任何尖端晶圓制造設施的必備產品。