二手 AXCELIS / FUSION Summit XT #9352620 待售
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AXCELIS/FUSION Summit XT是一種全面而堅固的曝光設備，旨在提供極為精確的光掩模制作能力。FUSION Summit XT能夠利用從248nm （KrF）到405nm （UV）的各種介質和波長曝光各種光掩模。它能夠處理從石英到玻璃再到金屬的各種介質。該系統采用六面、全封閉、隔振的環境，確保曝光光掩模的質量和精度最高。其高速處理能力使其適合最苛刻的光掩模應用。獲得專利的晶圓和光掩模掃描單元允許在光掩模上進行非常均勻的曝光,從而減少了對昂貴且耗費大量精力的重新對準的需求。AXCELIS Summit XT支持一系列精密的光掩模檢查系統，包括視覺檢查系統、顯微鏡和激光測量系統。這允許詳細檢查光掩模邊緣和其他可能影響曝光過程準確性的關鍵特征。此外，還提供了一套暴露計量工具，用於監測暴露變化和驗證機器性能。Summit XT被設計成可以處理非常高的分辨率模式，並支持高精度的曝光。其行業領先的對準精度可帶來卓越的叠加性能,並可提高光掩模制造工藝的產量。該工具支持包括亞微米性能在內的多種分辨率格式，其高曝光均勻性可以提高生產率，降低報廢和返工成本。AXCELIS/FUSION Summit XT提供多種配置以滿足任何光掩模應用程序的需求。它的靈活性旨在幫助需要快速調整流程以滿足不斷變化的市場和流程要求的客戶。FUSION Summit XT由廣泛的遠程服務網絡支持,以確保峰值性能。該資產還具有業界最全面的維護和診斷功能,允許從任何位置訪問重要的模型信息,從而實現更快、更高效的診斷和響應。設備使用方便，直觀的圖形用戶界面允許用戶快速訪問特性和功能。此外,還提供各種選項和升級,以幫助客戶根據他們的精確需求定制AXCELIS Summit XT。
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