二手 AXCELIS / FUSION UV-150PC #9134022 待售

AXCELIS / FUSION UV-150PC
ID: 9134022
晶圓大小: 6"
UV Stabilizers, 6".
AXCELIS/FUSION UV-150PC曝光設備是一種廣譜輻照系統,旨在在一系列基板上提供均勻曝光。這包括玻璃、聚合物、矽酮等元素,或任何其他可以在紫外線光譜範圍內進行光分解的材料。FUSION UV-150PC的構建考慮了可靠性、壽命和過程靈活性,並使用了知名制造商的組件來確保這一點。這種曝光裝置非常適合各種材料和基材暴露於紫外線的過程。AXCELIS UV-150PC具有先進的面板軸設計,可在大型和/或滲透性矩陣(如帶有遮罩圖案的玻璃)上保持一致的曝光,且傾斜或幹擾最小。曝光機還配有增強的激光制導矯正工具,可以使盧浮宮目標上的板子精確對準。該資產的總能量範圍為5-650 J/m2,大精密窗口為± 2.5%。這樣就可以對任何種類的材料進行可靠的處理,並且在整個現場具有很高的均勻性。開槽排氣模型的設計旨在減少風扇阻力對光學過程的影響,而車載紫外線傳感器則不斷監控光源強度,以保持一致性。該設備還具有多種安全功能,例如防止未經授權進入的防篡改前面板。它還包括一個自我診斷模式,它可以讓機器快速輕松地識別系統故障。另外,LED電源和保險絲指示燈可以輕松了解設備的整體性能。最後,UV-150PC設計方便維護,並配有一個粒子過濾器,用於捕獲可能進入機器的任何有害粒子。無需專用工具即可快速輕松地更換此過濾器。此功能使AXCELIS/FUSION UV-150PC對環境法規嚴格的公司來說是一個不錯的選擇。
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