二手 AXCELIS / FUSION UV-150PC #9144789 待售

AXCELIS/FUSION UV-150PC是一種曝光設備,旨在為先進的設備制造提供高效的光刻工藝。FUSION UV-150PC集成了先進的成像技術,能夠確保光掩模制造、半導體和其他相關工藝的質量和生產率。曝光系統的設計目的是在滿足高級自由形狀光掩模陣列要求的寬流程窗口上提供可靠的曝光能力。它是下一代光掩碼開發以及分辨率增強技術（RET）和硬掩碼曝光等應用的最佳單元。AXCELIS UV-150PC提供了提高生產率和產量的綜合功能。其自動對焦機自動補償基板的地形差異，提高了曝光工具的準確性和可重復性。其自動對焦技術可以以數字方式重新映射曝光數據，以解決曝光階段的小缺陷。此外，其先進的成像技術提供了高速曝光速率和均勻性。UV-150PC還擁有一個綜合熱管理資產。利用其內置的溫度控制模型，曝光設備確保了一致的光掩模圖樣，而無需裁剪。此外,其先進的光學系統提供了優化的光譜均勻性,並在整個曝光過程中提供了出色的曝光精度並行性。最後,改進的真空結構確保了穩定的成像,並提供了良好的圖像保留.AXCELIS/FUSION UV-150PC還設計用於最大限度地減少材料使用,其優化的網格技術有助於減少粒子生成。它還具有可配置的掃描單元,可最大化掃描速度並最小化光掩碼上的偽影。此外，它的完全可配置的自動跟蹤機器允許根據應用程序的要求精確調整焦點和劑量參數。FUSION UV-150PC是一種先進的曝光工具,可為各種光刻工藝提供卓越的工作效率、準確性和效率。其先進的成像資產可確保在廣泛的應用中進行高度準確和精確的曝光,這有助於最大限度地減少材料浪費並提高產量。其先進的內置溫度控制模型可提供卓越的圖像質量，而其創新的真空架構則可確保最佳的穩定性和圖像保留。最後，它的高速掃描能力和自動跟蹤設備保證了高吞吐量和可重復結果。