二手 AXCELIS / FUSION UV LC-6B #9061093 待售

AXCELIS/FUSION UV LC-6B是來自FUSION的最先進、功能齊全的曝光設備。該系統旨在提供精確的紫外線光刻曝光，以最大限度地提高通量和產量。此單元特別適合中高容量生產環境,因為它具有高度模塊化和可擴展性。FUSION UV LC-6B具有先進的設置和對準選項,提供了更好的降低和準確性的掩模到晶圓對準。這樣可以確保精確的接觸坐標,並確保更高的產率。該機高度自動化，允許最少的操作員參與，並配有精確的舞臺驅動器，用於精確的曝光放置。腔室尺寸可定制,可容納直徑不超過200毫米的基板。該工具為精確的曝光控制提供了先進的光學性能。其紫外線可調孔徑可確保均勻的照明強度和可重現的結果。高度先進的反射器技術促進了出色的捕捉便利,消除了錯位,並減少了切換時間。先進的光束掃描頭和自動重新聚焦光學器件減少了磁場可變性的焦深,並最小化了設置優化。AXCELIS UV LC-6B能夠達到高達25 mJ/cm2的暴露劑量,確保出色的分辨率.資產的高級批處理模式非常適合大吞吐量情況,並且可以定制配置以適應不同的基材或暴露劑量要求。先進的串聯工藝控制可確保晶片對晶片的最大可重復性，而獲得專利的非接觸基材和中間持有者可防止汙染。UV LC-6B旨在與各種自動化庫配合使用,包括MultiFab和Temptronic NxStep庫。它是一個可靠、經濟高效的模式化解決方案,可以依靠它來獲得一致的結果。憑借先進的成像技術和強大的模型軟件，AXCELIS/FUSION UV LC-6B是中高批量生產的理想曝光解決方案。