二手 AXCELIS / FUSION UV #9145265 待售

AXCELIS/FUSION UV是一款用於曝光紫外線（FUSION UV）光敏材料的先進設備。它是為制造半導體器件和晶圓而設計的光刻機。AXCELIS UV系統是一種抵抗曝光單元，使用帶有投影光學器件的UV燈提供多種曝光模式。燈的功率和光的強度是可調的，使光刻膠的精確曝光。它還配備了防反射塗層（ARC）腔室，以減少來自抗蝕劑表面的反射，從而產生更大的圖像清晰度。機器還使用自動步進/掃描儀來確保基板的均勻曝光。AXCELIS/FUSION UV工具能夠產生各種光掩模的曝光，從小尺寸到大尺寸圖樣不等，具有高精度和可重復性。該資產還配備了先進的地形墊片，使定制的曝光模式能夠直接轉移到基板表面。步進/掃描儀可確保在多個基板上進行精確且可重復的模式傳輸。FUSION UV型號配備了一系列安全特性。其中包括溫度和安全室，以保護人員免受高強度AXCELIS紫外線輻射的接觸。安全互鎖設備設計用於在暴露人員進入暴露區域時立即關閉系統。該單位還包括一個生物scanne r來檢測任何人員進入暴露區的前後兩壁。UV機是半導體器件制造中光刻工藝的一種可靠、通用的曝光工具.該資產能夠提供小到大尺寸的圖像曝光和模式傳輸,並具有準確性和可重復性。其安全特性將確保人員免受危險的AXCELIS/FUSION紫外線輻射。先進的模型為半導體光刻工藝提供了高效、準確、自動化和可靠的工具。