二手 BELTRON B3000 #293589857 待售
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BELTRON B3000是一種曝光設備,用於光刻應用,如半導體制造中使用的應用。該系統具有先進的成像單元,可以將高度精確的圖像投射到基板上進行曝光。機器由舞臺和控制器組成。該階段由兩個線性階段組成,它們在暴露過程中提供了基板的精確定位。另外,該級提供Z軸補償,其目的是補償晶圓級一致級失真。該工具的主要特點是其高級鏡頭資產(ALS)。該模型具有先進的圖像投影工具,提供了光刻市場上最高的分辨率。該設備以高度精確的方式投射光源,分辨率高達7nm。它還可以防止任何串擾或投射光「流出」到基板的其他區域,從而確保清晰和準確的圖像。除了精確的圖像投影系統外,B3000還具有各種特點,以提高可靠性和過程控制。這些特性包括獨特的兩級清潔工藝,以改善暴露前基板的清潔度,用於在暴露期間精確溫度控制的腔室溫度傳感器,以及用於一致溫度控制的高效冷卻裝置。這些功能有助於確保精確和高質量的曝光結果。BELTRON B3000機器還具有強大的軟件套件。此套件包括用於數據分析的工具、易於使用的界面以及用於控制各種流程參數的功能。此外,它還包括用於精確成像性能的校準工具。總體而言,B3000曝光工具提供業界領先的成像功能、對過程的精確控制以及功能強大的軟件工具,使其成為光刻應用程序的絕佳選擇。
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