二手 CHEMCUT 303 #9068989 待售

CHEMCUT 303是為接觸（正音）和非接觸（負音）光刻應用開發的最先進的曝光設備。該系統結合了多種先進技術，在接觸過程中提供了出色的再現性和準確性。此單元利用固定光學元件和多層分束器,提供卓越的圖像質量和均勻性,同時允許圖像尺寸達到15 x 15英寸。光學布局允許輕松集成到自動化平臺中。該光學器件具有低通量軟離子源和電磁快門，能夠曝光兩束光刻或單發光刻。該機還包括用於精確功率控制和均勻劑量分配的可調光束控制器。303配備了數字運動控制器和步進電機,可自動定位和定向曝光面罩和基板。它還包括一個先進的軟件包，用於自動對準和定位曝光區域和圖像。該工具符合業界流行的ISO和JEDEC標準，適合多種基材類型和尺寸。CHEMCUT 303為先進的曝光過程提供了可靠的解決方案。該資產先進的光學設備、先進的控制器和圖像質量軟件確保了線型和區域結構的可靠再現。303具有自動運動控制功能,可實現廣泛的過程靈活性,同時最大程度地減少暴露錯誤。此外,它與行業標準準則的兼容性使其適合各種應用,從晶圓陣列到IC封裝和MEMS制造。