二手 COLIGHT 1230 #293589867 待售

COLIGHT 1230是用於制造晶片和光學元件的各種光刻和加工應用的曝光設備。該系統能夠提供各種類型的曝光，例如：紫外線（UV）、可見、X射線、深紫外線（DUV）和高真空（HV）。該單元設計允許進行廣泛的曝光,使用戶能夠快速準確地生產多種組件,包括半導體、光電器件、MEMS和光學透鏡。該機采用1230mm x 1220mm級，可支撐多種300 mm以下的基板。舞臺運動力學由空氣軸承和線性同步電動機（LSM）組成，提供一致和可重復的運動控制。該級的高穩定性確保了整個晶片的均勻曝光。該工具利用強大的控制器和閉環反饋資產進行精確的光束定位和曝光。1230具有模塊化體系結構,其中包含用於光學、照明和控制的單獨模塊。這種模塊化設計允許安裝各種光學和照明源，以滿足用戶的應用要求。該模型最多可配置四個曝光頭和一個可選的機器人處理程序。曝光頭包含多種光學和光源，包括Imbert-Friedrich照明、Spectral Selection、Fourier Filtering、Cradle and Step Selection和On-Axis光學系統，使得該設備適合廣泛的光刻和處理應用。COLIGHT 1230設計了多種安全功能，以確保操作員的安全。它具有安全聯鎖、緊急停止按鈕和帶有聯鎖檢修門的護欄。它還具有晶圓映射、晶圓計數和亞微米對準等多種計量功能，為用戶提供了對其曝光過程的精確控制。該系統用戶友好，具有直觀的圖形用戶界面，便於參數設置和控制。1230是一種高能力的曝光單元，適合先進光學元件的制造商，包括半導體、MEMS設備和光學透鏡。它提供快速、準確的曝光,提供統一和可重復的結果,使用戶能夠快速高效地生產高質量的組件。