二手 COLIGHT DMVL 1350 #97452 待售

COLIGHT DMVL 1350是專門為增強光刻工藝而設計的曝光系統。它配備了高度集成的結構和一系列先進的組件，這些組件協同工作，為各種基材提供精確的暴露過程。這套系統具有一個z-stage，設計用來精確調整板的姿態；具有X-Y表的平面內電動機,可對樣品進行高精度定位；最高50納米的極佳分辨率；以及內置的運動控制界面，進一步改善了曝光過程。曝光源由兩個在可見光譜中發光的i3 s LED源組成；390、405、450 nm波長的三個脈沖激光源；和465 nm的LED源。LED源是單獨運行的,用戶可以更改以修改曝光強度。該系統還包括一個集成軟件包，允許精確控制曝光過程。此外，用戶可以在各種暴露參數之間變化，包括暴露時間、劑量和波長。DMVL 1350是一個全面可靠的系統，具有高度精確的曝光性能，非常適合各種光刻應用。