二手 DNS / DAINIPPON EEW-622-8 #138780 待售

DNS/DAINIPPON EEW-622-8是為高級研究應用而設計的最先進的曝光設備，包括微電子器件制造。DNS EEW-622-8以直接正音成像（DPI）技術為基礎，利用改進的電子束蒸發技術對晶圓材料薄層進行精確曝光。直接正音成像過程允許用戶在圖樣化的基板上進行不同類型的接觸，以及創造極薄且復雜的圖樣化設備的能力。DAINIPPON EEW-622-8包括一系列優化曝光性能的技術,例如高級掃描系統和高級發射器集成。掃描單元允許用戶控制電子束的大小、形狀和方向，從而實現高放大率和低放大率的曝光。發射器集成技術使機器能夠產生高度優化的圖像，最大限度地提高模式分辨率和設備性能。該工具配備了高效蒸發源，為暴露提供了必要的能量。該源通過對將要暴露的層施加負電勢來運作。這允許電子束蒸發材料，留下形成器件圖樣的帶電離子圖樣。EEW-622-8還設有一套綜合計量系統，可用於衡量和監測風險敞口資產的業績。該計量套件可以測量電子束的大小和形狀、束電流、漂移和分辨率。它還允許用戶監視暴露層內的充電級別。該模型還提供了高吞吐量功能,並且以一秒鐘內的高吞吐量速率進行曝光。此功能顯著提高了設備的多功能性,使用戶能夠快速高效地生成各種不同的模式。總體而言,DNS/DAINIPPON EEW-622-8是一個功能強大的曝光系統,使用戶能夠在小型和復雜的基板上制作精確的模式。憑借其全面的計量套件、高吞吐量能力和先進的發射器集成技術，用戶可以生產出性能提高的高質量設備。