二手 DS SEMICON DS 141 #293637840 待售

DS SEMICON DS 141是一種先進的自動化晶圓曝光設備，設計用於半導體IC（集成電路）制造中的光掩模處理。該系統適用於光刻和灰光/吹制過程。DS 141由一個主單元、三個伺服電機、步進電機、一個X/Y機器人等部件組成。該單元的主單元提供曝光和清洗過程的硬件和軟件控制。它負責控制步進和伺服電機以及X/Y機器人。步進電機驅動晶片卡盤組件,用於在處理過程中傳輸晶片。3個伺服電動機控制著X、Y和Z軸的運動，這些運動用於將掩模和基板定位在曝光室中。X/Y機器人在處理過程中將基板從負載鎖轉移到曝光室。DS SEMICON DS 141具有高分辨率成像機,可處理光掩模側和晶圓側的曝光。成像工具由一個標線和晶片卡盤、兩個成像器和兩個掃描板組成，用於監控成像資產的性能。標線用於定位光掩碼上的圖樣,並且可以在X、Y和Z軸上移動。晶圓卡盤在加工過程中用來固定基板，也可以在X、Y和Z軸上移動。該模型配有一個超高真空室，用於在低真空壓力下暴露晶片，以盡量減少基板的汙染。設備還配備了一個MFC（質量流量控制器）、一個壓力控制器和一個離子計，用於測量暴露室內的壓力。該系統還設有一個輻照裝置，由三個總功率為625瓦的氙燈組成。DS 141有一個自動流程和數據歸檔機，它允許遠程控制和監控曝光流程。該工具還提供了實時顯示模型狀態的診斷和故障檢測資產。該設備最多可儲存500個配方，每個工藝周期最多處理1,000,000個晶圓。總之，DS SEMICON DS 141是一種先進的自動化晶片曝光系統，具有高分辨率成像、超高真空室、MFC和輻照裝置等特點，適用於光掩模加工和其他高級半導體IC制造工藝。