二手 ELECTRON VISION / AMAT / APPLIED MATERIALS 3C-PM #28671 待售

ELECTRON VISION/AMAT/APPLICED MATERIALS 3C-PM是一種為支持高級光學光刻應用而設計的曝光設備。該系統可實現高攝影分辨率和降低X-Y舞臺運動。AMAT 3C-PM由一個關鍵的對準級和一個高精度光學成像單元組成。ELECTRON VISION 3C-PM支持非常高分辨率的特征控制和次分辨率的模式對齊,以及模模掩碼對齊的超高級性能。該機包括一臺先進的成像顯微鏡，提供了預補全投影和針柵陣列（PGA）級的視場。還有特征識別和差距調整能力。3C-PM提供高達8英寸模具尺寸的高吞吐量應用程序,以獲得最大產量。它控制所有光刻過程,包括塗層、圖樣檢查、曝光和蒙版對準。每個APPLIED MATERIALS 3C-PM工具都有一個集成的缺陷檢測資產。ELECTRON VISION/AMAT/APPLICED MATERIALS 3C-PM具有車載電機控制,以保證高位置精度。它具有高度精確的真空/壓力夾緊模型，以確保模具兩側緊密配合，最大限度地提高工藝產量。AMAT 3C-PM是一種高度靈活的設備,可提供雙面成像和廣泛的曝光參數,以滿足各種產品需求。它允許快速更改光掩碼,同時保持一致的成像條件。該系統能夠獨立控制每個LED或Laser陣列的強度,從而確保在整個基板表面均勻曝光。ELECTRON VISION 3C-PM是專門為多層光刻而設計的,配有一個完全可編程的光學校正單元,為掩模不對準提供高效準確的校正。它還提供先進的激光能量控制，並允許動態激光曝光控制。此外，機器還配備了一個全面的對準工具，用於手動和自動模式轉移到基板。3C-PM是一種經濟高效、可靠且適應性強的曝光資產,提供先進的光學光刻解決方案。它旨在簡化高分辨率、高質量、低材料成本和卓越可靠性的設備模式的過程。該模型使制造商能夠最大程度地控制光刻工藝,並使他們能夠在較短的時間內生產出質量更好的設備。