二手 ELECTRON VISION / AMAT / APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11 #138799 待售

ELECTRON VISION/AMAT/APPLICED MATERIALS EC-30200-AT11是AMAT設計的先進曝光設備，在光刻/蝕刻/納米加工應用中提供卓越性能。該系統設有真空室、激光照明投影單元和高速掃描平臺，用於控制過程。AMAT EC-30200-AT11能夠支撐最寬範圍的晶圓直徑,從4英寸到8英寸（100毫米到200毫米）。該機采用多光子激光器，可精確控制光度，用於光刻和蝕刻應用。這些激光器可以產生分辨率高達0.25um/1000線/毫米的高度均勻的光強度和高保真圖像。該工具的高速掃描平臺使其能夠以高達1kHz的速度執行光刻過程。這樣可以實現更快的吞吐量,同時確保過程中更高的一致性和準確性。該資產還具有256區幹涉計量模型，允許在晶圓上進行可重復測量和精確處理。ELECTRON VISION EC-30200-AT11利用特殊氣體和先進擴散機制的獨特組合來提高蝕刻性能。這包括基於HF的氣體、碳氟化合物和氧氣的混合物、O2、 、 、 、CO2和其他特殊氣體。該設備還采用了先進的化學噴射系統來精確控制pH值，並配備了自動氣體選擇裝置來定制氣體混合物表面條件。APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11還具有提供控制和過程監控的高級自動化機器。這包括一個帶有顯示界面的嵌入式控制工具，允許操作員遠程監視和調整進程。它還具有高速網絡連接，以方便資產控制器和其他設備之間的數據傳輸和交換。總之EC-30200-AT11是一個高度先進的曝光模型，旨在提供光刻、蝕刻和納米加工應用方面的卓越性能。通過利用多光子激光器、高速掃描平臺以及各種特種氣體和化學註入系統，這一設備為廣泛的晶圓直徑提供了精確和可重復的結果。通過先進的自動化系統,操作員能夠訪問遠程控制和過程監控功能。