二手 ELECTRON VISION ElectronCure 30X #9191672 待售

ELECTRON VISION ElectronCure 30X是一種用於光刻工藝的強大而可靠的曝光設備。采用深層紫外線和電子束光刻技術均可曝光。它具有獨特的電子束和水銀燈源組合。它具有高分辨率和良好的聚焦穩定性，是各種微電子應用的絕佳選擇。ElectronCure 30X提供卓越的聚焦深度（DOF）性能。DOF是電子束和水銀燈可以在設計的暴露劑量範圍內暴露的區域。ELECTRON VISION ElectronCure 30X的DOF範圍令人難以置信的寬廣，使得電子束的暴露範圍可達0.3 µm，汞源的暴露範圍可達0.7 µm。ElectronCure 30X的源通量是可編程的，這提供了對曝光劑量的高度控制，也允許在曝光過程中調整電子束和燈的強度。它還具有一個先進的自動聚焦選項,允許圍繞某個區域快速掃描和精確聚焦。這確保了投影設計與基板之間的良好對齊，使其成為現有應用和新應用的理想選擇。該系統還提供了極好的劑量均勻性，這意味著即使在采用具有挑戰性的設計時，劑量也可以統一調整。它還使用了一個軟件包，以更好地控制暴露過程並提高批處理能力。這樣可確保在不同的設計資源和生產現場之間輕松準確地傳輸數據。ELECTRON VISION ElectronCure 30X是一個穩定、可靠和健壯的單元，為用戶提供質量最高的圖像，得到最一致的結果。它提供流暢的操作、卓越的準確性和可重復性，使其成為現有和新的輸出需求的絕佳選擇。在分辨率和焦點穩定性方面，這臺機器是當今最先進、用途最廣泛的曝光系統之一。它可以用於大部分的光刻過程，從簡單的1D線研磨到復雜的3D圖案。