二手 EXFO / EFOS IQ-203 #9152167 待售

EXFO/EFOS IQ-203是EXFO Instruments的工程專家制造的高級曝光設備。該系統設計用於25納米以下臨界尺寸（CD）線/空間測量。EXFO IQ-203利用自動化的prober和3軸定位平臺來確保準確和可重復的曝光性能。曝光裝置還設有一個集成的自動光刻塗層平臺，用於高介電常數材料。EFOS IQ-203利用最先進的光學設備提供一致的高分辨率成像。曝光機的硬件設計能夠承受和適應精確成像所需的高精度運動。該工具采用三軸伺服電動定位器來精確、重復地定位光學元件。X-Y級的分辨率為0.1 µm，位置精度為1 µm。第三（Z）軸提供200 µm的焦點深度，運動精度為0.01 µm。此外，曝光資產還包括一個旋轉級，該旋轉級就成像光學器件提供對基板的全角控制。此外,IQ-203還配備了高性能成像模型。該設備采用單色或多色照明，視野均勻。它還配備了高分辨率數碼相機，能夠產生分辨率高達3微米的圖像。此外，曝光系統具有集成的自動聚焦功能，可根據樣品的運動來調整成像。EXFO/EFOS IQ-203還與測量樣本關鍵尺寸和特征的精確計量單元集成在一起。這臺機器配備了板載激光器，能夠進行快速的非接觸式測量。此外，曝光工具包括一個自動化的控制軟件，允許用戶方便地設置和監控曝光過程。總體而言,EXFO IQ-203是一種高級曝光資產,設計用於高精度成像和計量測量。其集成的硬件和軟件有助於快速、準確地測量樣品上的關鍵特征和尺寸。該模型是先進微電子和半導體應用的理想選擇。