二手 FUSION G03 #9196371 待售

FUSION G03是為半導體對準器和步進器設計的先進曝光設備。該系統采用自動對焦二維對準測量系統，可提高精度，並具有高精度激光對準和標線夾緊等優點，具有良好的均勻性。曝光單元配備了最先進的自動調平機，在整個曝光區域提供快速、精確和精確的調平，同時還提供卓越的叠加性能。曝光工具能夠曝光多達24英寸的設備級設備，並有一個高分辨率的模式發生器，允許高達21 µm的模式，並能夠4路曝光。該資產具有高性能LED熱熔器,可提供出色的亮度和對比度,變化範圍可達0.4 µm,還能夠減少曝光變化。該型號還配備了高精度三維掃描儀，以確保跨多個對齊器精確對齊，以及高精度對齊故障識別和叠加匹配等多種控制功能。此外，設備設計為完全自動化的設備和標線處理。它還與多種標線類型兼容，如凸起標線，並配有高分辨率的標線夾。該系統還設有具有多種計量功能的先進計量平臺，包括掃描電子顯微鏡（SEM）、原子力顯微鏡（AFM）檢查、光學檢查。計量功能的設計是為了確保出色的模式均勻性和可重復性，以實現卓越的性能。總體而言，G03是一種高性能、先進的曝光裝置，專為精確的半導體對準和曝光而設計。其特點使其成為生產線和其他大容量半導體制造應用的理想選擇。