二手 HAKUTO HAP 3510C #156190 待售

HAKUTO HAP 3510C是為晶圓級制造工藝設計的曝光設備。該系統提供了精細螺距裝置所需的精度和精確度。曝光頭可容納各種面罩尺寸，包括石英面罩，其曝光窗口與中大規模生產要求兼容。高精度的階段運動也確保準確一致的曝光結果。HAP 3510C是一種直接曝光裝置，能夠曝光尺寸達8英寸的石英面罩。它利用專利曝光頭，它以「掃描」運動在整個晶片上移動，從而實現更高的曝光均勻性和曝光精度。曝光頭具有特殊的快門設計，可最大限度地減少耀斑並實現更精確的曝光分辨率。HAKUTO HAP 3510C可用於曝光高達100 nm的細螺距設備。憑借其先進的運動控制算法，曝光頭可以以高達每小時6000mm的速度平穩準確地移動，確保快速可靠的曝光結果。曝光機還配備了先進的冷卻工具，使其能夠維持所需的熱環境以獲得最佳效果。曝光資產可以與各種機床和流程集成在一起,以滿足您的自動化生產要求。此模型具有易於使用的計算機控件和圖形界面,使用戶能夠快速優化操作。它還具有高度自動化的容錯設計,可最大限度地提高設備的正常運行時間,並支持可靠的長期生產。除了各種功能外,HAP 3510C還提供一系列安全功能。其中包括晶片的防塵、晶片對準和未對準檢測以及自動安全關閉系統。此外,該單元基於開放式體系結構,使其具有可擴展性和可定制性。HAKUTO HAP 3510C是一個全方位的曝光機，能夠為你的晶圓級工藝提供高效的曝光解決方案。其可靠的曝光結果，加上高精度，使其成為晶圓級處理的理想選擇。