二手 LG PRI SAES5031 #9301073 待售

LG PRI SAES5031是一種最先進的曝光設備，旨在提供紫外線，用於生產優質光刻膠。該系統結合了先進的內部光學設備和高達2,000毫米/秒的掃描速度,以實現最大的吞吐量和最小的維護需求。該單元由紫外線光源、快門組件和高分辨率X-Y移動機器人組成。光源采用兩個內部光學器件，最大輸出4800 mW/cm2；它能夠在多個預先設定的波長和曝光時間下精確地傳遞紫外線。快門組件采用了故障安全功能,提供了可調的間隔長度,以實現卓越的性能和準確性。運動機器人采用超低摩擦軸承和高精度閉環控制機來實現精確的穩定性和位置精度。SAES5031最多可容納六種不同的光刻膠，適合高產生產和優化。它的高級快門控制功能與可編程曝光計數相結合,使其能夠自動啟動、停止和重復曝光,以及切換光阻層。它還具有內置真空夾緊功能,以確保在整個曝光過程中都能準確定位。為了增加安全性，LG PRI SAES5031采用故障安全鏡頭保護設計，可防止暴露在危險的紫外線下。最後，該工具包含一個直觀的圖形用戶界面，允許用戶輕松監控和調整曝光設置。SAES5031是應用光刻的理想工具，在不犧牲工業安全要求的情況下為批量生產提供可靠、可重復的性能。