二手 MATSUSHITA Anup 5204 #9286451 待售

MATSUSHITA Anup 5204曝光設備是設計用於光刻工藝的自動化晶圓曝光系統。它包含一個提供精確位置、曝光和定向控制的自動化晶圓處理程序；高度精確的激光對準裝置，以實現快速和精確的對準；以及一種自動光學接近校正技術,能夠自動識別缺陷類型,並能夠調整暴露參數以對其進行補償。曝光機具有各種曝光能力，包括光掩模掃描曝光、標線掃描曝光、微光刻和電子束曝光，以及高紫外線和低紫外線曝光模式。曝光工具還提供模式識別和校正能力，使其能夠輕松地識別和糾正違規行為。Anup 5204資產采用高精度晶片級和晶片處理模型，提供精確的晶片定位和定位，以及曝光和定向控制。此外，曝光設備還提供快速、精確的激光對準，能夠調整各種光刻工藝的對準和曝光參數。為了有效地實現整個晶片的均勻曝光，曝光系統采用了光學接近校正技術，該技術調整了曝光特性，以考慮到DFM要求。該技術允許曝光單元識別和補償特定的模式識別和缺陷識別。MATSUSHITA Anup 5204曝光機用途廣泛，可用於LCD制造、光掩模制造、MEMS制造等多種應用。此外,該工具還提供了總體擁有成本,使其對註重成本的制造商具有吸引力。該資產還提供了一個用戶友好的計算機界面，允許用戶設置和檢索數據，以及監視曝光狀態和檢查錯誤消息。曝光模型還可以鏈接到其他制造設備，從而實現數據的連接和共享。Anup 5204曝光設備提供了一種全面的晶圓曝光解決方案,可滿足多種工藝要求。它不僅提供精確的晶圓定位和定向控制，還具有先進的激光對準系統和自動OPC調節功能。它也是高度通用的，具有被用於各種應用的能力。這使其成為尋求高效方法來創建高質量產品的註重成本的制造商的絕佳選擇。