二手 MIDAS MDA-40FA #9358497 待售

MIDAS MDA-40FA是專門為提供最佳晶片蝕刻性能而設計的最先進的曝光設備。該系統基於MIDAS專有的可變元件比率（VCR）技術,使用戶能夠精確設置統一蝕刻輪廓和高制造產量所需的參數。MDA-40FA將高性能驅動基板與提高暴露傳遞精度相結合。其集成的PDS（等離子體沈積單元）消除了對專用掩模的需求，使基板的處理速度大大加快。該機具有40站架、用戶友好的液晶觸摸屏顯示屏、高壓（6 torr）基板環境以及基於計算機的自動化過程控制。MIDAS MDA-40FA允許用戶進行各種過程操作,包括制圖、清洗、蝕刻和沈積。它也提供了在基板上沈積單層膜的機會。此外，該工具還提供多個庫存模塊，包括一個集成的濕清潔模塊和一個集成的等離子體蝕刻模塊。濕式潔凈室設有低壓環境，可自動清洗，而等離子體蝕刻室可在高達5 torr的大氣壓下運行。MDA-40FA提供了操作過程中基板參數的集成視圖。資產的單一集成視圖有助於精確控制和監控不同的參數,包括基板旋轉速度、快門速度和曝光時的快門角度。還可以使用自定義設置配置模型,以滿足特定的流程要求。此外，自動化控制設備能夠儲存多達25個流程，並能深入了解所使用的材料。此外,MIDAS MDA-40FA使用戶能夠精確控制暴露劑量,並保持晶圓邊緣的均勻性。其精密的設計消除了手動對齊的需要,從而提高了吞吐量。此外，系統通過控制基室內的溫度來確保過程的準確性。綜上所述，MDA-40FA是專門為提供均勻晶片蝕刻性能而設計的高性能曝光裝置。其先進的技術允許用戶為提高吞吐量和制造產量精確設置各種參數。集成的高壓環境保證了操作過程中對基板參數的精確控制。此外,自動控制機器還能深入了解所使用的材料,從而無需手動調整並提高吞吐量。