二手 NIKON FX-21S #9285711 待售

NIKON FX-21S是一種先進的曝光設備,專為最精確的光刻生產而設計.它具有集成的多區域對稱曝光頭,能夠統一曝光大型基板,並具有用於記錄曝光設置和結果的自動文檔系統。曝光單元配有兩個參數化光源：一個用於均勻線性刺激的200W氙弧燈和一個300W金屬鹵化物燈，以及一個用於三個不同曝光區域的帶模塊化光學元件的反射器。氙源用於提供最一致和均勻的光，金屬鹵化物燈為小區域提供更集中的強度。這種光源組合提供了每個不同區域的精確曝光，從而確保了光掩模的精確再現。該機光學部件采用高精度二氧化矽玻璃制成，具有完全的溫度和濕度無源。此外,它們還設計用於長期可重復性和最小的熱噪聲。光學部件安裝在高性能雙軸橫向平臺上，用於精確準確的曝光定位和控制。曝光頭與兩個激光微米相結合，用於基板的對準和環境變量的補償。激光微米也被用於可控曝光極小部分的光刻膠。微米可在五個參數中進行調節，允許在不同過程中精確曝光光刻膠。對於註冊精度和數據分析,FX-21S還提供了一個高級自動文檔工具,用於記錄不同的設置參數,如曝光時間、曝光區域、光源類型和持續時間等。所有數據都以易於檢索的格式系統化和存儲,並且可以以不同的格式輸出。該資產提供了對結果的完整可追蹤性,確保了準確和可重復的暴露結果。此外，NIKON FX-21S還配備了直觀的用戶界面和高級軟件，便於控制曝光過程，以及讀取和記錄輸出的數據。接口提供了幾種不同的語言，這樣就可以在世界不同地區使用。它還提供內置的安全功能,可在發生意外事件（如電源故障）時保護用戶。最後，FX-21S是一個高度精確和可靠的曝光模型，設計用於高精度光刻生產。它配備了自動化的登記和校準系統，以確保準確的曝光和一致的結果。它旨在提供最高的準確性和安全性,同時提供易於使用的圖形用戶界面。