二手 NITTO UM 810 #9130821 待售

NITTO UM 810是為生產半導體器件而設計的曝光設備。它是一個高度先進的系統，利用紫外線、電子束和激光曝光技術的組合，在薄膜或光刻基板上創建復雜的圖樣。NITTO UM810能夠產生最小尺寸為5微米的復雜模式。它是一個多功能靈活的平臺,提供可定制的解決方案以滿足各種需求。UM-810是一個全自動單元，具有直觀的用戶界面和簡單的機器控制。它包括一個發光源室，在其中發出紫外線以暴露材料。電子束室控制在半導體基板上銑削的電子束。激光曝光（LBE）工具精確定位激光輸出進行對準和曝光。該LBE還包括激光掃描儀的精細圖案。UM 810配備了光學子系統，通過將光聚焦到基板上來提供高分辨率成像。光學子系統包括光源、場發生器、高強度光源、投影光學、數字幀抓取器和焦點資產。該模型還可用於半導體芯片相互鍵合的亞微米級對準。UM810是一種非常精確的設備,通過其產量優化功能來節省時間和降低成本。它與包括金屬、聚合物、玻璃在內的各種材料的基材高度兼容。其LED曝光源可確保結果在可接受範圍內的可重復性。最後,該系統提供了易於操作和升級的功能,使其成為滿足任何曝光需求的理想選擇。