二手 NOVELLUS Vector Sola xT #9390438 待售

NOVELLUS Vector Sola xT是一款先進的曝光設備，旨在滿足半導體行業使用的光刻工藝的嚴格需求。Vector Sola xT能夠在600°C或更高的溫度下提供高精度、高質量的曝光,並具有高速、高分辨率的模式覆蓋層,能夠生產最復雜的結構。該系統采用先進的雙級光學單元，具有高精度多邊形掃描和超高分辨率圖樣叠加功能，可實現微米級特征的高速精確圖樣。配備了專有算法的先進近場光學頭可實現高對比度的精確高清晰度成像。這增強了整個基板場的節點均勻性和均勻性。高速曝光機總吞吐量高達每小時225個晶圓。它配備了高精度的狹縫掃描算法和快速的現場縫合技術，使無縫成像具有低失真。這種高吞吐量可確保縮短周期時間,從而促進更高效的生產操作。除了高速曝光能力外，NOVELLUS Vector Sola xT還配備了先進的真空處理工具，能夠快速裝卸基板。這將基板振動造成的暴露故障風險降至最低。它還有助於提高吞吐量和減少曝光周期時間。Vector Sola xT還具有先進的曝光控制工具,能夠精確控制曝光參數。這有助於通過提供準確可靠的成像解決方案來優化過程結果。資產還配備了高精度對準模型，以確保精確的曝光對準，最大限度地減少過度和不足接觸基板。總體而言,NOVELLUS Vector Sola xT是一款先進的曝光設備,旨在滿足半導體行業中光刻工藝的嚴格需求。其高精度的多邊形掃描、雙級光學系統和超分辨率的圖樣叠加使得最復雜的結構能夠高速生產。其先進的真空和對準系統能夠在低失真的情況下實現準確可靠的成像，其曝光控制單元有助於優化工藝結果。