二手 OAI 2000 EdgeBead #9266654 待售

OAI 2000 EdgeBead是為半導體制造行業自動制造Quartz基板而設計的最先進的曝光設備。它具有雙軸掃描能力和精確定位功能,能夠有效、準確地曝光各種尺寸和厚度的基板-從單個基板單元0.030英寸。厚達多個基板堆棧，總厚度為一英寸。2000 EdgeBead采用全自動真空操作系統構建,可輕松操作和對齊基板。該單元采用標準工具包配置，由61 「x 81」曝光基地組成；垂直面真空板；光束掃描儀；精確的立柱。整個機器安裝在12 'x 12'的空間內,可在標準的ISO 7類潔凈室內操作。OAI 2000 EdgeBead由使用VMEBus技術的LXI 3.0控制器驅動的控制工具提供支持。這種能效高的資產使用戶能夠完全控制曝光過程，從陣列到基板對齊。該控制器還具有用戶友好的圖形界面，可快速、方便地導航機器的參數和模型配置。為了保證產品的質量和使用壽命，對設備的所有部件進行了嚴格的測試和驗證。2000 EdgeBead采用高頻、高分辨率波束掃描儀，產生可重復模式，精度為2微米，最大工作頻率為60 kHz。該系統專為線性和點對點激光曝光而設計,配備了8鏡頭可變孔徑光學外殼和氦冷束掃描儀。為了提高吞吐量和縮短周期,OAI 2000 EdgeBead配備了精密輸送機。這種智能機器可以在高速加工過程中以連續運動的方式移動基板。該工具還具有堆棧裝載機和卸載機，可以快速拆卸和更換基板，以及精確的基板定位。總體而言,2000 EdgeBead是一種直觀且用途廣泛的資產,旨在提高生產產出和效率。OAI 2000 EdgeBead通過提供一系列自動化工藝、提高吞吐量和全面的作業控制,確保為當今要求苛刻的半導體行業準確生產石英基板。